[SHIMADZU] 中国で半導体業界向けターボ分子ポンプを生産開始 天津の工場に組み立てラインを新設 | ニュース

2026年6月9日 | プレスリリース
中国で半導体業界向けターボ分子ポンプを生産開始
天津の工場に組み立てラインを新設

株式会社島津製作所は、中国の生産子会社である天津島津液圧有限公司（TSH）にターボ分子ポンプ（以下TMP）の生産ラインを新設して、生産を開始しました。中国国内の顧客向け供給能力を強化するため、サプライチェーンの最適化とコストダウンを図ります。5月18日に現地で操業記念式典を開催しました。

TMPは装置内部にある多数の金属製ブレード（羽根）を毎分数万回という超高速で回すことで、気体分子を弾き飛ばして真空状態を作り出します。当社製TMPは半導体製造装置およびコーティング装置などに搭載されています。中国における両装置の市場は高い成長が見込まれ、同国の製造業強化政策に伴い現地生産の需要が高まっていました。TSHは既設工場の遊休エリアにクリーンルーム、検査設備などを設けて生産ラインを新設しました。設備投資額は約3億円で、当面は年間2000台の生産を見込みます。

写真：新生産ラインの様子

写真：中国で生産予定のTMPの1種

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